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真空快速退火炉仪器和真空快速退火炉应用领域

作者:admin 浏览量:201 来源:本站 时间:2022-09-17 12:24:39

信息摘要:

真空快速退火炉仪器和真空快速退火炉应用领域真空快速退火炉仪器特点:- 真空快速退火炉,有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa);- 可在不同气氛环境下使用,如惰性气体、氧气、氢氮混合气等;- 控制方式:SIMATIC, SPS人机界面控制,7英寸触摸屏;- 可存储50个程序,每个程序最多分为50段控制;- 全自动智能控制,

真空快速退火炉仪器和真空快速退火炉应用领域



真空快速退火炉仪器特点:

- 真空快速退火炉,有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa);

- 可在不同气氛环境下使用,如惰性气体、氧气、氢氮混合气等;

- 控制方式:SIMATIC, SPS人机界面控制,7英寸触摸屏;

- 可存储50个程序,每个程序最多分为50段控制;

- 全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;

- 优异的温控均匀性,极佳的工艺重现性;

- 小尺寸台式设计;


 


真空快速退火炉应用领域:

- 离子注入/接触退火;

- 快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;

- SiAu, SiAl, SiMo合金化;

- 低介电材料;

- 晶体化,致密化;

- 太阳能电池片键合;

等等...


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