RTD晶圆测温wafer
产品详情
● 高精度晶圆测温系统
● ±0.1℃ @ -40℃ 至 250℃ （超低温可定制）
● Front Track Systems
● Hot Plates
● Cold Plates
● HMDS Chambers
“RTD-低温/高精度-仪表化晶圆电阻温度探测器(RTD)-最高温度240 C 仪器化晶圆rtd工作原理是在一定的温度范围内,某些金属的电阻以可重复和可预测的方式增加或减少。 与热电偶晶片相比,RTD的仪器晶片具有更高的精度和更高的稳定性,为监控半导体制造设备提供了额外的选择。